七星华创 CS200H 质量流量控制器/流量计 数字型高温产品 全国包邮 热销

简要描述：

 

CS200H质量流量控制器是七星流量计生产的数字型高温产品，其电气和机械部分采用分体式的设计，通过高温线缆连接，可以实现在高温环境下工作，能够满足复杂多变的半导体测量需求。

 

CS200H质量流量控制器是七星流量计生产的数字型高温产品，其电气和机械部分采用分体式的设计，通过高温线缆连接，可以实现在高温环境下工作，能够满足复杂多变的半导体测量需求。
 

优势

• 控制器工作温度：90~120℃。
• 高控制精度：产品精度可达±1.0% S.P.(≥35%F.S.)。
• 快速响应，响应时间≤ 0.8sec。
• 采用恒功率传感器原理，在温度变化时进行相应的补偿，从根本上抑制了流量计的零漂现象，保证了传感器线性。
• 高端产品采用专门的金属表面处理技术，与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV，CS200产品金属表面粗糙度更可达10RA以下，严格按照SEMI标准生产制造。
• 支持±8V~±16V双电源, +14V~+28V单电源供电;数字，模拟输入输出。
• 产品尺寸符合国际通用的SEMI标准，RS485，DeviceNet通讯方式。

CS200H质量流量控制器技术参数

CS200

型号

CS200-H

阀类型

常闭

无

流量规格(N2)

(0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM
(0～1,2,3,5,10,20,30)  SLM

准确度

±1.0% S.P. (≥35% F.S.)
±0.35% F.S.(＜35% F.S.)

线性

±0.5% F.S.

重复精度

±0.2% F.S.

响应时间

≤ 1sec

工作压差范围

0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM
0.1～0.35MPa 流量规格＞10SLM

＜0.02 MPa

较大工作压力

0.45MPa

温度系数

零点: ≤±0.1% F.S./℃；调节时: ≤±0.1% F.S./℃

耐压强度

3MPa

漏率

1×10-11 Pa·m3 / sec He

密封材料

金属密封

工作环境温度

质量流量控制器/流量计:（90～120）℃；控制盒:（0～50）℃

输入信号

数字: RS485 或 DeviceNet
模拟:(0～5)VDC或(4～20)mA

无

输出信号

数字:RS485或 DeviceNet  
模拟:(0～5)VDC或(4～20)mA

零漂

在没有零点校正时＜0.6%F.S./年

电源

±8 ～ ±16 VDC (双较)或 +14 ～ +28 VDC (单较)

表面化学成分

Cr/Fe比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥20 （埃）

表面粗糙度

10 Ra

标准接头形式

双卡套φ6；双卡套1/4；VCR1/4阳接头；1.5´´C型密封接头
1.5´´ W型密封接头

电源接头形式

D型9针阳接头；D型15针阳接头；DeviceNet接头

连接高温电缆

2m

重量

1.2Kg

1Kg

全国包邮，价格优惠，含税运，

 

 

产品规格不同，型号不同价格就不同，价格根据需求面议