七星华创 DS300质量流量控制器/流量计，用于半导体器件的刻蚀溅射等工艺

产品介绍

 

DS300质量流量控制器优势

• 控制精度高，精度可达±1.0% S.P.(≥10%F.S.)。
• 响应速度快，响应时间≤ 0.5sec。
• 采用基于压力原理的流量传感器技术，使产品具有压力不敏感特性，能够适用较大的气源压力波动。
• DS300采用有效的机械加工技术与表面处理技术解决深小孔不能或者很难电抛光(EP)的难题，实现孔径相对较小(孔径<1mm)、深径比相对较大(>10)的不锈钢小孔、深盲孔以及交叉孔的表面电化学抛光处理，完全符合SEMI标准要求。

DS300质量流量控制器技术参数

DS300C

型号

DS300C

阀类型

常闭

流量规格(N2)

(0～30,50,100,200,300,500)  SCCM
(0～1,2,3,5,10)            SLM

准确度

±1% S.P. (≥10% F.S.)       
±1% F.S. (＜10% F.S.)     

线性

±0.5% F.S.

重复精度

±0.2% F.S.

响应时间

≤ 0.5sec          

进口压力

240～450KPa 流量规格≤5SLM
350～450KPa  流量规格＞5SLM

出口压力

≤1.2KPa    流量规格≤5SLM
≤13.3KPa  流量规格＞5SLM

温度系数

零点：≤±0.02% F.S./℃；
调节时：≤±0.1% F.S./℃

耐压

3 MPa

漏率

1×10-11 Pa·m3 / sec He

密封材料

金属密封

较大工作压力

0.45MPa

工作环境温度

（10～45）℃

输入信号

数字：RS485 或 DeviceNet
模拟：(0～5)VDC

输出信号

数字：RS485 或 DeviceNet  
模拟：(0～5)VDC

零漂

在没有零点校正时＜0.6%F.S./年

电源

±8～±16 VDC (双较) 或 +14～+28 VDC (单较)

表面化学成分

Cr/Fe比例≥2.0；
CrO 厚度≥20 （埃）

表面粗糙度

Ra  5μinch

标准接头形式

VCR1/4阳接头；
1.125″C型密封接头；
1.125″W型密封接头；
Compression Fittingφ6

电源接头形式

D型9针阳接头；
D型15针阳接头；
DeviceNet接头

重量

1.2Kg

全国包邮，价格优惠，含税运，

 

 

产品规格不同，型号不同价格就不同，价格根据需求面议