产品简介 品牌材质精度等级适用介质款式转换器形式公称直径压力范围工作压力流量测速范围温度范围工作温度量程比产地加工定制 无 不锈钢 0.1 气体 电子带数显 一体式 3-6mm 中压 0-10Mpa 0-100SLPMkg/h 中温 0-65℃ 1:50 进口 否 BROOKS MFC 气体质量流量计 ODEL型号:5860E GAS气体:N2 FLOW RANGE流量:100SLPM INPUT PRESSURE进口压力::0.4Mpa OUTPUT PRESSURE出口压力:0.1Mpa O-RING SEAL 密封::Viton FITTING气路接头::1/4“SWG OUTPUT 信号输出:0-5V Power电源:±15V 详细介绍 一、brooks气体质量流量计概览 Brooks的数字与模拟热式质量流量控制器具有业界的性能—我们的许多产品都已连续工作了20年以上。我们的新型热式质量流量设备在响应时间、精度、可重复性、调节比及自诊断方面均具有显着的优势。 我们的热式质量流量产品还通过了多种防护(IP)认证,适用于多种危险场所。 二、brooks气体质量流量计产品特点 · 较低的泄漏率 · 结构紧凑 · 内螺纹排气口抛光处理 · 常闭阀 · 对安装位置不敏感 三、brooks气体质量流量计技术参数 · 数字信号/模拟信号输出,可通过电脑直接显示控制,可配单/四/八通道显示控制器 · 介质:可选H2,O2等非腐蚀性气体或SiO2,SO2等腐蚀性气体 · 流量范围:0.03-30slpm · 量程比:50:1 · 较大工作压力: 1500psi(10.432Mpa) · 气路接头: 1/4"VCR或1/4"SWG · 电气接头:15 Pins D-Type或Card-edge · 精度:±1%FS · 重复性:0.25% of rate · 响应时间:1-3s · 差压要求:3-6bar(压差要求与介质、量程有关) · 操作温度范围:5~65℃ · 输出信号:0-5VDC或4-20mA · 电源:+/-15V