BROOKS 5853E质量流量控制器

品牌材质精度等级适用介质款式转换器形式公称直径压力范围工作压力流量测速范围温度范围工作温度量程比产地加工定制
无	不锈钢
0.1	气体
电子带数显	一体式
3-6mm	中压
0-10Mpa	0-2500SLPMkg/h
中温	0-65℃
1:50	进口
否
 
BROOKS MFC 气体质量流量计
ODEL型号：5853E
GAS气体：N2
FLOW RANGE流量:2500SLPM
INPUT PRESSURE进口压力:：0.4Mpa
OUTPUT PRESSURE出口压力：0.1Mpa
O-RING SEAL 密封:：Viton
FITTING气路接头:：1/4“SWG
OUTPUT 信号输出:0-5V
Power电源：±15V
详细介绍
可重复性：0.25％

控制范围：50：1

安装状态灵感度：复零后，比*精确度误差不到±0.5％量程。

温度敏感度：零点：小于±0.075％量程每摄氏度

量程：比较初校准刻度小±1.0％量程（在10－50摄氏度）

压力敏感度：±0.03％每psi到200psig(N2)

输出电压：0－5伏直流（200K欧姆的输出电阻）

输出信号：输出0－5伏直流到2000欧姆或更高的负荷

          输出5±0.1伏直流（参考），较大负荷2000欧姆

较大操作压力：1500psig ;5-50psid压损（较小压损根据气体和周围环境具体而定）

温度、外界/气体：41－149oF（5－65oC）

完全泄漏，外界：1×10-9cc/s

功率要求：常闭阀（或常开阀/流量≤2.5slpm）

           3.5瓦特，直流15伏◎35mA,-15伏@180mA

           常开阀/流量>2.5slpm

           10.5瓦特，直流15伏◎350Ma,-15伏@350mA

构造材质：

标准接液部分采用不锈钢材质，可供选择的还有;Kalrez或Buna-N

连接：

硬件连接：标准9/16－18UNF不锈钢压力接头(Swagelok)，可选：VCO或VCR

电气连接：卡连接器（镀金）或D型连接器（DA－15P