无 | 不锈钢 |
1 | 气体 |
电子带数显 | 一体式 |
3-6mm | 低压 |
0-1Mpa | 0-30SLPMkg/h |
中温 | 0-65℃ |
进口 | 否 |
长期零点稳定性,每年变动小于满量程的± 0.5%
稳定时间:500 ms - <1秒
满量程流速高达300 slpm
全金属密封流路:Ra表面处理的流路
耐腐蚀Hastelloy® T-Rise传感器可提升高温下测量结果的可重现性
MultiFlo™气体和量程设定功能—一台设备即可满足数千种气体类型和各种量程组合的需求,*从气路上拆除MFC并且不影响精度
本地显示屏
可选SDS气体输送
DeviceNet™、RS-485 L-协议和模拟接口
半导体蚀刻工具
薄膜化学气相沉积系统(CVD、MOCVD、PECVD、ALD)
物理气相沉积(PVD)系统
外延工艺系统